内平面孔径仪使用两个或三个点来定位并直接测量孔径,这也是测量孔径的常用方法。根据被测孔径的精度等级和数量,可以使用游标卡尺,工具显示镜,万能测长仪,水平测长仪,水平光学测厚仪,气动动量仪等通用长度测量工具;也可以使用特殊的孔径测量工具,例如内径千分尺,内径百分表和百分表,内径千分尺,电子塞规和基于气动光学和电原理的孔径计。
1.带有杠杆机构的测量孔:此方法通常用于手持式孔径测量工具,例如内径百分表,机械或电气内径千分尺等。内平面孔径仪测得的孔径尺寸和校准环规之间的差光圈通过杠杆机构从百分表,机械或电气千分尺读出。这种测孔工具的测量孔径范围一般为10〜800mm,内径千分尺的测量精度可以达到3〜5μM。
2.使用楔形原理测量孔:这种方法也常用于手持式孔测量工具中。用于测量小孔的内径百分表可以测量小至0.5毫米的孔。当测得的孔压紧探针并用圆锥体移动测量杆时,可以从百分表或千分尺读出孔的误差。三点定位方法适用于测量直径大于3mm的孔。当测量杆旋转时,测量杆在固定螺母的作用下向前移动,三个探头通过圆锥形向外移动,圆锥体在测量杆的顶部带有螺旋凸起,并与被测孔接触。从固定套筒和差动缸上的刻度上读出测得的孔径,有三个用于测孔的爪式千分尺。
3.根据气动,光学和电动原理,必须在接近20℃的恒定温度下进行内平面孔径仪的高精度孔径测量。光学干涉孔径计的孔径测量范围为1〜50mm,精度为±0.5μM.